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现提供一种铝膜工艺方法,能完全去除聚合物,保护铝膜不会被腐蚀。铝膜工艺方法适用于厚度不低于的铝膜,去除金属膜时去掉聚合物,再用湿法刻蚀加干法刻蚀将剩余聚合物完全去除。去除金属膜采用氧气流和水剥离的方法。进一步地,去除金属膜时温度控制在230